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平面度基准装置
计量基准证书 证书标号 国基证[2002]第005号
发证单位 国家质量监督检验检疫总局
建立时间 1986-12-14
发证日期 2002-12-25
计量基准名称 平面度基准装置
计量基准编号 国基证[2002]第005号
计量基准量 平面度
计量基准状态 在用
年量传数量
专业 直线度和平面度
是否改造
是否参加国际对比
测量范围 量值复现不确定度或准确度
?150mm 0.01μm
保存单位名称 中国计量科学研究院
描述 用于国家平面度量值溯源,平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。公差带是距离为公差值t的两平行平面之间的区域。平面度属于形位误差中的形状误差。 平面度误差测量的常用方法有如下几种:平晶干涉法,激光平面度测量仪等。
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